2024年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛

2024年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛将于5月27-28日在中国烟台召开。本次研讨会将邀请海峡两岸与平坦化技术相关的高校、研究所和企业的专家、学者和技术人员参加，就平坦化技术的发展现状与趋势进行学术和技术交流，共同提高平坦化技术的研究和应用水平，促进相关产业发展。大会将是微纳电子和精密制造平坦技术领域学术界和产业界合作、交流的盛会，欢迎学术界和产业界同仁踊跃参加。大会将广泛征集平坦化技术相关领域论文（投稿截止日期为2024年4月27日，论文模板参见附件1）。

时间：2024年5月27-28日。

地点：中国烟台威斯汀酒店

议题：平坦化技术最新成果与进展，包括；

l l 平坦化/抛光技术机理；

l l CMP过程建模、模拟和优化；

l l 硬脆材料的平坦化/抛光工艺技术；

l l CMP测量技术；

l l CMP工艺用关键材料与零部件；

l l CMP后清洗与缺陷抑制工艺；

l l CMP工艺集成与控制技术；

l l 平坦化/抛光新原理与新技术；

l l 半导体应用CMP技术产业研讨。