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为了促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作,由中国摩擦学学会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的海峡两岸平坦化技术研讨会将于2013年5月16日至18日在天津河北工业大学举行。会议邀请我国微电子制造领域资深专家做顾问,参会人员主要来自海峡两岸高校、研究所、微电子制造领域知名企业以及台湾平坦化协会,参会人数150人左右,会议将广泛征稿并出版会议论文集(投稿截止日期为2013年3月20日,投稿邮箱cmpconference@126.com,稿件格式参考河北工业大学学报稿件格式http://www.qikan.cm/15/126/1483.html)。
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大会议题: 平坦化技术最新成果与进展; CMP设备; CMP材料; CMP工艺。
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    May 16

    2013

    to

    May 18

    2013

  • May 18 2013

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中国摩擦学学会微纳制造摩擦学专业委员会
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河北工业大学
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