Introduction
海峡两岸平坦化技术研讨会旨在促进两岸平坦化技术交流，深化学界和业界的合作，提高两岸平坦化技术水平，自 2012年至今已举办5届。2017年海峡两岸平坦化技术论坛将于5月22~23 日在大连理工大学召开。本次研讨会将邀请海峡两岸与平坦化技术相关的企业、高校和研究所机构参加，就平坦化技术的发展现状与趋势进行学术交流，共同提高平坦化技术的研究水平和技术水平，促进相关产业发展。大会将是平坦技术领域学界和业界合作交流的盛会，欢迎学术界和产业界同仁广泛参与。
Call for paper
Submission Topics
议题：平坦化技术最新成果与进展，包括；
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平坦化/抛光技术机理；
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CMP 过程建模、模拟和优化；
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硬脆材料的平坦化/抛光工艺技术；
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CMP 测量技术；
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CMP 工艺用关键材料与零部件；
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CMP 后清洗与缺陷抑制工艺；
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CMP 工艺集成与控制技术；
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产业发展对 CMP 技术的新需求；
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平坦化/抛光新原理与新技术；
All Comments
Important Date
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Conference Date
May 22
2017
toMay 23
2017
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May 23 2017
Registration deadline
Sponsored By
大连理工大学
Organized By
大连理工大学
Contact Information
- 闫英
- yy******@163.com
- 151********
Previous Conferences
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2013-05-16 China 天津市
2013年海峡两岸平坦化技术研讨会
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